1, 【FTIR是傅里叶红外光谱仪,但是LT
傅立叶红外光谱仪最核心的部分是 迈克尔逊干涉仪。可以说没有干涉仪就没有傅立叶变换红外光谱。正是因为红外光源经过迈克尔逊干涉仪发生多色光相干，经过样品吸收之后，检测器检测到含有样品信息的红外干涉光的干涉图信号，再经过计算机将干涉图信号经过傅立叶变换，才转换成红外光谱。其余的部件，如：检测器，光源，光学反射镜，采集卡，计算机等。光源：用于产生宽带的红外光，样品吸收光源产生的红外光后引起样品分子的振动态跃迁，从而引其透过样品的红外光在相应波长上的透过强度的变化，这也是红外光谱能检测分子振动特征峰的理论来源。光学反射镜：用于改变红外光的光路检测器：用于检测透过样品的红外吸收信号，并将光信号转换成电信号传送给计算机的采集卡。采集卡：用于采集检测器检测到的信号，并将信号存储、处理成光谱。计算机：用于控制光谱仪的运行，协调迈克尔逊干涉仪，检测器和采集卡的运行、数据采集和处理。
2, FTIR光谱仪
FTIR 傅氏转换红外线光谱分析仪 （Fourier Transform infrared spectroscopy） 用于半导体制造业。FTIR乃利用红外线光谱经傅利叶转换进而分析杂质浓度的光谱分析仪器。目的：·已发展成熟，可Routine应用者，计 有： A.BPSG/PSG之含磷、含硼量预测。 B.芯片之含氧、含碳量预测。 C.磊晶之厚度量测。·发展中需进一步Setup者有： A.氮化硅中氢含量预测。 B.复晶硅中含氧量预测。 C.光阻特性分析。FTIR为一极便利之分析仪器，STD的建立为整个量测之重点，由于其中多利用光学原理、芯片状况（i.e.晶背处理状况）对量测结果影响至钜。目前所有的红外光谱仪都是都是傅里叶变换型的，光谱仪主要由光源（硅碳棒、高压汞灯）、迈克尔逊干涉仪、检测器和干涉仪组成。而傅里叶变换红外光谱仪的核心部分是迈克尔逊干涉仪，把样品放在检测器前，由于样品对某些频率的红外光产生吸收，使检测器接受到的干涉光强度发生变化，从而得到各种不同样品的干涉图。这种干涉图是光随动镜移动距离的变化曲线，借助傅里叶变换函数可得到光强随频率变化的频域图。这一过程可有计算机完成。用傅里叶变换红外光谱仪测量样品的红外光谱包括以下几个步骤：1）、分别收集背景（无样品时）的干涉图及样品的干涉图；2）、分别通过傅里叶变换将上述干涉图转化为单光束红外光；3）、将样品的单光束光谱处以背景的单光束光谱，得到样品的透射光谱或吸收光谱。参考百科
名词解释
样品
样品（sample）是能够代表商品品质的少量实物。它或者是从整批商品中抽取出来作为对外展示模型和产品质量检测所需；或者在大批量生产前根据商品设计而先行由生产者制作、加工而成，并将生产出的样品标准作为买卖交易中商品的交付标准。
傅里叶
让·巴普蒂斯·约瑟夫·傅里叶（Jean Baptiste Joseph Fourier，1768年3月21日-1830年5月16日），出生于约讷省欧塞尔，毕业于巴黎高等师范学校，法国著名数学家、物理学家。 他曾跟随拿破仑军队远征埃及，发表过《热的传播》和《热的分析理论》，提出了傅里叶级数、傅里叶变换等理论。1830年5月16日，逝世于巴黎。
干涉
干涉（interference）在物理学中，指的是两列或两列以上的波在空间中重叠时发生叠加，从而形成新波形的现象。 例如采用分束器将一束单色光束分成两束后，再让它们在空间中的某个区域内重叠，将会发现在重叠区域内的光强并不是均匀分布的：其明暗程度随其在空间中位置的不同而变化，最亮的地方超过了原先两束光的光强之和，而最暗的地方光强有可能为零，这种光强的重新分布被称作“干涉条纹”。在历史上，干涉现象及其相关实验是证明光的波动性的重要依据，但光的这种干涉性质直到十九世纪初才逐渐被人们发现，主要原因是相干光源的不易获得。 为了获得可以观测到可见光干涉的相干光源，人们发明制造了各种产生相干光的光学器件以及干涉仪，这些干涉仪在当时都具有非常高的测量精度：阿尔伯特·迈克耳孙就借助迈克耳孙干涉仪完成了著名的迈克耳孙－莫雷实验，得到了以太风观测的零结果。迈克耳孙也利用此干涉仪测得标准米尺的精确长度，并因此获得了1907年的诺贝尔物理学奖。而在二十世纪六十年代之后，激光这一高强度相干光源的发明使光学干涉测量技术得到了前所未有的广泛应用，在各种精密测量中都能见到激光干涉仪的身影。现在人们知道，两束电磁波的干涉是彼此振动的电场强度矢量叠加的结果，而由于光的波粒二象性，光的干涉也是光子自身的几率幅叠加的结果。
