首页 >  知识中心 >  新闻详情

蚀刻机和光刻机 光刻机和刻蚀机的区别

来源:朵拉利品网  |  2020-06-09 02:38:39

1, 光刻机和刻蚀机的区别



刻蚀相对光刻要容易。光刻机把图案印上去,然后刻蚀机根据印上去的图案刻蚀掉有图案(或者没有图案)的部分,留下剩余的部分。
“光刻”是指在涂满光刻胶的晶圆(或者叫硅片)上盖上事先做好的光刻板,然后用紫外线隔着光刻板对晶圆进行一定时间的照射。原理就是利用紫外线使部分光刻胶变质,易于腐蚀。
“刻蚀”是光刻后,用腐蚀液将变质的那部分光刻胶腐蚀掉(正胶),晶圆表面就显出半导体器件及其连接的图形。然后用另一种腐蚀液对晶圆腐蚀,形成半导体器件及其电路。
光刻机一般根据操作的简便性分为三种,手动、半自动、全自动
1.手动:指的是对准的调节方式,是通过手调旋钮改变它的X轴,Y轴和thita角度来完成对准,对准精度可想而知不高了;
2.半自动:指的是对准可以通过电动轴根据CCD的进行定位调谐;
3.自动: 指的是 从基板的上载下载,曝光时长和循环都是通过程序控制,自动光刻机主要是满足工厂对于处理量的需要。
参考资料:百度百科-光刻机,百度百科-刻蚀

2, 蚀刻机,啥叫光刻机,啥叫光栅刻画



蚀刻机可以分为化学蚀刻机及电解蚀刻机两类。在化学蚀刻中是使用化学溶液,经由化学反应以达到蚀刻的目的,化学蚀刻机是将材料用化学反应或物理撞击作用而移除的技术。
光刻机(Mask Aligner) 又名:掩模对准曝光机,曝光系统,光刻系统等。常用的光刻机是掩膜对准光刻,所以叫 Mask Alignment System.一般的光刻工艺要经历硅片表面清洗烘干、涂底、旋涂光刻胶、软烘、对准曝光、后烘、显影、硬烘、刻蚀等工序。Photolithography(光刻) 意思是用光来制作一个图形(工艺);在硅片表面匀胶,然后将掩模版上的图形转移光刻胶上的过程将器件或电路结构临时"复制"到硅片上的过程。
光栅刻画:光学中光栅最通常的作用是色散。光栅刻划是制作光栅的方法之一。
蚀刻机
名词解释

刻蚀

刻蚀,英文为Etch,它是半导体制造工艺,微电子IC制造工艺以及微纳制造工艺中的一种相当重要的步骤。是与光刻相联系的图形化(pattern)处理的一种主要工艺。所谓刻蚀,实际上狭义理解就是光刻腐蚀,先通过光刻将光刻胶进行光刻曝光处理,然后通过其它方式实现腐蚀处理掉所需除去的部分。随着微制造工艺的发展,广义上来讲,刻蚀成了通过溶液、反应离子或其它机械方式来剥离、去除材料的一种统称,成为微加工制造的一种普适叫法。

光刻机

光刻机(Mask Aligner)是制造微机电、光电、二极体大规模集成电路的关键设备。其分为两种,一种是模板与图样大小一致的contact aligner,曝光时模板紧贴晶圆;另一种是利用类似投影机原理的stepper,获得比模板更小的曝光图样。高端光刻机被称为“现代光学工业之花”,制造难度很大,全世界只有少数几家公司能制造。

腐蚀

《腐蚀Rust》是由Facepunch Studios公司采用Unity 3D制作的一款第一人称生存网络游戏,目前可以建设个人服务器。通过steamcmd可以获得服务端,开设正版服。建议玩家选择人少一点的服务器游玩,不然很容易被其他暴力玩家组队杀掉。但是,要记住野生的队友同样不可靠。 2018年12月28日,《腐蚀》获Steam“2018年度最佳抢先体验毕业作品(铂金级)”。2018年12月24日至30日,《腐蚀》位居Steam周销量排行榜第10位。

 
相关新闻
标牌机 标牌机哪个品牌好 06-10
深圳粒子科技有限公司 深圳市奇能科技有限公司 06-26
打鱼机选爆机位置位置 打鱼机怎样选位置 07-04
中微半导体股东结构 中微半导体,什么是中微半导体 07-26
中微半导体 中微半导体,什么是中微半导体 07-26
注塑调机口诀 注塑机调机详细方法 08-12
长期喝柠檬水的坏处 每天喝柠檬水有什么好处和坏处? 08-19
升级机 如何升级收机 08-24
翻译机哪种好用 翻译机哪个牌子的好用? 01-08
出国带什么翻译机 翻译机 出国旅行用什么翻译机 01-08
相关产品
笔记本折边机 自动上胶折边机 皮革折边机 允边机 皮鞋折边机 05-29
屏蔽罩用304去应力不锈钢带,超平整304TA不锈钢带 06-26
304装饰201钛金拉丝电梯门KTV墙面厨房蚀刻彩色镜面不锈钢板批发 07-09
旋耕机 小型旋耕机 农用旋耕机 手扶式旋耕机 旋耕机报价 林工 小型旋耕机价格 07-11
铜版画花开富贵铜板蚀刻壁画现代简约客厅牡丹花装饰挂画背景墙画 08-08
不锈钢屏风,玫瑰金不锈钢屏风隔断定做,可来图来样定做 08-10
不锈钢玫瑰金屏风厂家/金属隔断墙来图定做 /不锈钢镂空花格加工 08-10
供应宝钢P20P20塑料模具钢 08-13
供应PCB设备、电刻机 蚀刻机 腐蚀机 广告新设备 蚀刻设备,标牌制作设备 广告设备 08-15
东莞点睛铭牌标识3m超强反光安全出口指示标牌 户内外 3M反光标识牌 消防疏散指示牌 方向标牌 丝印铭牌 08-20

大家都在看