维修日立扫描电子显微镜

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维修日立扫描电子显微镜

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发布时间 2021-05-22 08:01:53

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Hitachi SU8020

日立2011年新推出了SU8000系列高分辨场发射扫描电镜，其中SU8020不光1kv的分辨率提升到1.3nm，并且在探测器设计上有新的突破，配置了Lower、Up-per和Top三个Everhart-Thornley型探测器，可以接受SE、LA-BSE和HA-BSE多种信号，实现微区的形貌衬度、原子序数衬度、结晶衬度和电位衬度的观测；结合选配的STEM探测器，还可以实现明场像和暗场像的观测；此外在半导体应用中，还可以安装EBIC探测器，采集感生电流图像，极大丰富了信号的采集，对样品的信息的收集达到了新的高度。
日立电子显微镜SU8020特点：
1. 优秀的低加速电压成像能力，1kv分辨率可达1.3nm
2. 日立专利的ExB设计，不需喷镀，可以直接观测不导电样品
3. 配置Lower、Upper和Top三个Everhart-Thornley型探测器
4. Upper和Top探头均可选择接受二次电子像或背散射电子像
5. 可以根据样品类型和观测要求选择打开或关闭减速功能
6. 标配有冷指、电子枪内置加热器，物镜光阑具有自清洁功能
7. 仪器的烘烤维护及烘烤后的透镜机械对中均可由用户自行完成

项目		SU8020	SU8030				SU8040
二次电子分辨率		1.0nm （加速电压15kV、WD＝4mm）
		1.3nm （加速电压1kV、WD＝1.5mm）
加速电压		0.1～30kV
观测倍率		20～8000,000(底片输出)
		60～2,000,000（显示器输出）
样品台
马达驱动		5轴				REGULUS样品台
行程	X	0～50mm		0～110mm
	Y	0～50mm		0～110mm		0～80mm
	Z	360°
	T	-5～70°
	R	1.5～30mm			1.5～40mm
最大装载尺寸		100mm（最大）			150mm（最大）			150mm（最大）
		150mm（选配）			200mm（选配）
探头
标配	Lower	高立体感图像
	Upper	高分辨SE、LA-BSE图像
	Top	SE的电位衬度像、HA-BSE图像
选配	STEM	明场像、暗场像
	YAG 探头	BSE图像
	半导体探头	BSE图像
	EBIC	电子束感生电流图像
	EDS	元素分析
反污染措施
冷指		标配
物镜光阑		内置自清洁功能
电子枪		内置加热器
真空系统
离子泵		3台
分子泵		1台
机械泵		1台

日立

日立（HITACHI）是一家日本综合跨国集团，成立于1910年，总部位于日本东京。日立于1982年4月在纽交所上市，曾在福布斯全球企业2000强榜单中排名第149。日立事业涉及有能源系统、铁路等交通系统，运用大数据进行创新的信息系统，以及通过健康管理、诊断、医疗技术等提供医疗保健等领域。

电子显微镜

电子显微镜，简称电镜，英文名Electron Microscope（简称EM），经过五十多年的发展已成为现代科学技术中不可缺少的重要工具。电子显微镜由镜筒、真空装置和电源柜三部分组成。电子显微镜技术的应用是建立在光学显微镜的基础之上的，光学显微镜的分辨率为0.2μm，透射电子显微镜的分辨率为0.2nm，也就是说透射电子显微镜在光学显微镜的基础上放大了1000倍。